缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
缩短微机械圆盘谐振器缝隙的电极移动法
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
赵兴海
中科院分区：
文献类型：
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作者：
邓成;鲍景富;杜亦佳;赵兴海
