Investigation of Debris Dynamics from LaserProduced Tin Plasma for EUV Lith ography Light Source
Investigation of Debris Dynamics from LaserProduced Tin Plasma for EUV Lith ography Light Source
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用于 EUV 光刻光源的激光产生的锡等离子体的碎片动力学研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Okada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Nakamura;K. Tamaru;T. Akiyama;A. Takahashi;T. Okada
