Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection

Micro thermal sensor for nanometric surface defect inspection
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用于纳米表面缺陷检测的微型热传感器

DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
Proceedings of the 16th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOTECHNOLOGY (IEEE NANO 2016)
影响因子：
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通讯作者：
Wei Gao
Wei Gao
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yuki Shimizu;Yuki Matsuno;Yuta Ohba;Yuan-Liu Chen;Wei Gao

文献摘要

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