永田裕之: "He-SF_6高周波プラズマアフタ-グロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程" 電気学会プラズマ研究会資料. 41-47 (1995)

永田裕之: "He-SF_6高周波プラズマアフタ-グロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程" 電気学会プラズマ研究会資料. 41-47 (1995)
复制标题

Hiroyuki Nagata:“He-SF_6高频等离子体余辉等离子体中带电粒子的湮灭过程”IEEJ Plasma Study Group Materials 41-47 (1995)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献