"高速OVPE-GaN結晶の厚膜化に向けた炉壁多結晶抑制"
"高速OVPE-GaN結晶の厚膜化に向けた炉壁多結晶抑制"
复制标题
“抑制反应器壁多晶以增厚高速 OVPE-GaN 晶体”
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
森 勇介
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
3.川波 一貴;宇佐美 茂佳;今西 正幸;丸山 美帆子;吉村 政志;隅 智亮;滝野 淳一;岡山 芳央;秦 雅彦;伊勢村 雅士;森 勇介
