駆動力制御窒化法による窒化アルミニウム単結晶膜の作製
駆動力制御窒化法による窒化アルミニウム単結晶膜の作製
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驱动力控制氮化法制备氮化铝单晶薄膜
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
箱守明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Toan Nguyen Van;Hidetoshi Miyashita;Masaya Toda;Yusuke Kawai;Takahito Ono;木村剛;長尾忠昭;箱守明
