SiCの紫外光支援固定砥粒研磨における固定砥粒工具の検討
SiCの紫外光支援固定砥粒研磨における固定砥粒工具の検討
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固结磨具紫外光辅助固结磨具抛光SiC的研究
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石橋崇洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Osada;W. Nakao;K. Takahashi;K. Ando;安部洋平;石橋崇洋
