MEMS共振子の温度特性を予測するシミュレータの作成
MEMS共振子の温度特性を予測するシミュレータの作成
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创建一个预测 MEMS 谐振器温度特性的模拟器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中 秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山田 駿介;田中 秀治
