单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
单硅片单面硅微机械加工的热温差式流量传感器
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DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
李昕欣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
薛丹;王家畴;李昕欣
