Effects anisotropic elasticity on stress concentration in micro mechanical structures fabrieated on (001) single-crystal silicon films
Effects anisotropic elasticity on stress concentration in micro mechanical structures fabrieated on (001) single-crystal silicon films
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各向异性弹性对（001）单晶硅薄膜上微机械结构应力集中的影响
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. kehara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Inoue;et al.;Masato Mizutani;T. kehara
