Kenkichiro Kobayashi: "Preparation of ZnO Film by Atomic Layer Deposition"Electroceramics in Japan. 2. 158-162 (1999)

Kenkichiro Kobayashi: "Preparation of ZnO Film by Atomic Layer Deposition"Electroceramics in Japan. 2. 158-162 (1999)
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小林健吉郎:“原子层沉积法制备ZnO薄膜”日本电陶瓷。

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