Time-resolving image analysis of drilling of thin silicon substrates with femtosecond laser ablation
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复制标题
飞秒激光烧蚀薄硅基板钻孔的时间分辨图像分析
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Yokotani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Oshida;T. Minamizawa;T. Miyazaki;Y. J. Kim;M. Endo;A.Yokotani
