Evaluation of Visco-Elastic Properties for Micron-Thich SU-8 Polymers towards Reliable Design of MEMS Optical Mirror
Evaluation of Visco-Elastic Properties for Micron-Thich SU-8 Polymers towards Reliable Design of MEMS Optical Mirror
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评估微米厚 SU-8 聚合物的粘弹性，以实现 MEMS 光学镜的可靠设计
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Takio et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizugaki;H.Shimada;T.Fujita;T.Fujita et al.;T.Namazu;T.Namazu et al.;瀧尾健一;K.Takio et al.
