Numerical Analysis of Breakdown characteristics for Ar Microplasma-猫眼课题宝

Ar微等离子体击穿特性的数值分析

DOI：

发表时间：

2006

期刊：

Proc. of the 6^<th> International Conference on reactive Plasmas and 23^<rd> Symposium on Plasma Processing

影响因子：

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中科院分区：

文献类型：

作者：

S.Uchida;F.Tochikubo