先端デバイス開発のための３次元アトムプローブ分析技術の応用例
先端デバイス開発のための３次元アトムプローブ分析技術の応用例
复制标题
3D原子探针分析技术在先进器件开发中的应用实例
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清水康雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Ryuzaki;K. Terada;N. Saito;K. Okamoto and K. Tamada;清水康雄
