复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备
复合高功率脉冲磁控溅射Ti的放电特性及薄膜制备
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DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
汪爱英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
李小婵;柯培玲;刘新才;汪爱英
