ヘリコンスパッタSiC薄膜の摩擦・摩耗特性に及ぼす各種元素添加の影響
ヘリコンスパッタSiC薄膜の摩擦・摩耗特性に及ぼす各種元素添加の影響
复制标题
不同元素添加对螺旋溅射SiC薄膜摩擦磨损性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
菅田 淳
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
岩崎智史;曙 紘之;加藤昌彦;菅田 淳
