High-Resolution Anger Depth Profiling by sub-keV Ion Sputlering

High-Resolution Anger Depth Profiling by sub-keV Ion Sputlering
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通过亚 keV 离子溅射进行高分辨率愤怒深度分析

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Surf.& Interf.Anal. 37
影响因子:
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通讯作者:
H.J.Kong
H.J.Kong
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M.Inoue;R.Shimizu;H.I.Lee;H.J.Kong

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