津田和朗,草野英二 他: "Al/TiN多層構造薄膜の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析"真空. 44. 100-104 (2001)
津田和朗,草野英二 他: "Al/TiN多層構造薄膜の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析"真空. 44. 100-104 (2001)
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Kazuo Tsuda、Eiji Kusano 等人：“通过 Al/TiN 多层薄膜的微压痕硬度测试进行能量分析”真空。 44. 100-104 (2001)
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