T.KOSUGI,H.IWASE,K.GAMO: "The characteristics of ion beam assisted etching of GaAs by pulsed focused ion beam irradiation" Microelectronic Eng.

T.KOSUGI,H.IWASE,K.GAMO: "The characteristics of ion beam assisted etching of GaAs by pulsed focused ion beam irradiation" Microelectronic Eng.
复制标题

T.KOSUGI,H.IWASE,K.GAMO:“脉冲聚焦离子束照射的离子束辅助蚀刻 GaAs 的特性”微电子工程。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献