Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma
复制标题
基质温度对甲烷等离子体中生成的碳氢化合物吸附的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Masanori Shinohara
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara
