Influence of metal exposure on the plasma potential in RF-biased high-density plasma with floating liner
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金属暴露对浮动衬里射频偏置高密度等离子体中等离子体电势的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yukinori Chiba;Manabu Kyuzo;Haruka Suzuki and Hirotaka Toyoda
