YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性
YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性
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使用 YbGaN 和 YbAlN 外延薄膜的 BAW 谐振器的特性
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
柳谷隆彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
馮子泰;李嵩;柳谷隆彦