Three-Dimensional Fabrication Using Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition : Overhang Deposition Mechanism and Its Simulation

Three-Dimensional Fabrication Using Focused-Ion-Beam Chemical-Vapor-Deposition : Overhang Deposition Mechanism and Its Simulation
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使用聚焦离子束化学气相沉积进行三维制造：悬垂沉积机制及其模拟

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of the 50th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology & Nanofabrication (EIPBN2006)
影响因子：
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通讯作者：
Kunihiko Mabuchi
Kunihiko Mabuchi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Takayuki Hoshino;Takafumi Suzuki;Kunihiko Mabuchi

文献摘要

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