Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma
Spatio-temporal measurements Ar 2p1 excitation rates and optical emission spectroscopy by capacitively coupled Ar and Ne mixed gas plasma
复制标题
通过电容耦合 Ar 和 Ne 混合气体等离子体进行 Ar 2p1 激发速率和发射光谱的时空测量
DOI：
10.1557/s43580-022-00306-2
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0.8
通讯作者：
Shiratani Masaharu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Otaka Michihiro;Arima Toshiaki;Lai Jiansyun;Ikeda Kizuki;Kamataki Kunihiro;Yamashita Naoto;Okumura Takamasa;Itagaki Naho;Koga Kazunori;Shiratani Masaharu
