Effect of xenon gas on deposition of diamond-like carbon film using high power pulsed magnetron sputtering
Effect of xenon gas on deposition of diamond-like carbon film using high power pulsed magnetron sputtering
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氙气对高功率脉冲磁控溅射沉积类金刚石碳膜的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ohta Takayuki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Keita Takeda;Akinori Oda;Hiroyuki Kousaka;Ohta Takayuki
