Fundamental Study on Multi-wire EDM Slicing of Monocrystalline Silicon-Effects of Working Fluid Supplying Method and Wire Speed-

Fundamental Study on Multi-wire EDM Slicing of Monocrystalline Silicon-Effects of Working Fluid Supplying Method and Wire Speed-
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单晶硅多线电火花切割基础研究-工作液供给方式和线速度的影响-

DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
Proceedings of Spring Meeting of Japan Society of Precision Engineering (2004)
影响因子：
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通讯作者：
Yoshiyuki UNO
Yoshiyuki UNO
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Yoshiyuki UNO

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