圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
圧電MEMSのための高性能圧電薄膜の開発
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压电MEMS高性能压电薄膜的开发
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田 慎哉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Qi Xuanmeng;Yoshida Shinya;Tanaka Shuji;吉田 慎哉
