冷凍シクロヘキサンターゲットを用いたPLD法によるDLC薄膜の作製
冷凍シクロヘキサンターゲットを用いたPLD法によるDLC薄膜の作製
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冷冻环己烷靶材PLD法制备DLC薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
我妻由貴，中村貴宏，佐藤俊一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水田亮;伊藤典明;吉澤恵子;田口哲志;我妻由貴，中村貴宏，佐藤俊一;田中宏明;我妻由貴，中村貴宏，佐藤俊一
