Rohana Perera, Akihiro Ikeda, Reiji Hattori, Yukinori Kuroki: "Trap assisted leakage current conduction in thin silicon oxynitride films grown by rapid thermal oxidation combined microwave excited plasma nitridation"Microelectronic Engineering. Vol.65 No.
Rohana Perera, Akihiro Ikeda, Reiji Hattori, Yukinori Kuroki: "Trap assisted leakage current conduction in thin silicon oxynitride films grown by rapid thermal oxidation combined microwave excited plasma nitridation"Microelectronic Engineering. Vol.65 No.
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Rohana Perera、Akihiro Ikeda、Reiji Hattori、Yukinori Kuroki：“通过快速热氧化结合微波激发等离子体氮化生长的氮氧化硅薄膜中的陷阱辅助漏电流传导”微电子工程。
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