Akiyama,Y.: "Shape of film grown on micro-size trenches and holes by chemical vapor deposition:3-dimensional Monte Calro simulation" Japan Journal Applied Physics. 34. 6171-6177 (1995)
Akiyama,Y.: "Shape of film grown on micro-size trenches and holes by chemical vapor deposition:3-dimensional Monte Calro simulation" Japan Journal Applied Physics. 34. 6171-6177 (1995)
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Akiyama，Y.：“通过化学气相沉积在微米尺寸沟槽和孔上生长的薄膜形状：3 维蒙特卡罗模拟”日本应用物理杂志。
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