Evaluation of Silicon Substrates Fabricated by Seeding Cast Technique
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晶种铸造技术制造的硅衬底的评价
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.725.133
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and A. Ogura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Tachibana;T. Sameshima;T. Kojima;K. Arafune;K. Kakimoto;Y. Miyamura;H. Harada;T. Sekiguchi;Y. Ohshita;and A. Ogura
