圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサのバイアス電圧印加による共振周波数変化
圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサのバイアス電圧印加による共振周波数変化
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压电隔膜式超声波微传感器因施加偏置电压而引起的谐振频率变化
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野田実
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山下馨;良川慧太;冨山賢司;野田実
