The Application of Parametric Excitation in MEMS Gyroscopes
The Application of Parametric Excitation in MEMS Gyroscopes
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参量激励在MEMS陀螺仪中的应用
DOI：
10.1115/detc2013-12029
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Gallacher B
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Gallacher B
