Nanocrystalline silicon carbonitride thin films prepared by plasma beam- assisted deposition
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DOI：
10.1016/s0040-6090(01)01599-1
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发表时间：
2001-12
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Z. Cao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Z. Cao
