AlN下地膜を用いた室温動作Pd極薄膜型水素センサー
AlN下地膜を用いた室温動作Pd極薄膜型水素センサー
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采用AlN基膜的室温Pd超薄膜氢传感器
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大西悠介，春本高志，石黒孝
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大西悠介;石黒孝;春本高志;大西悠介，春本高志，石黒孝
