Shape control of nano periodic structure using hologram-assisted Talbot lithography
Shape control of nano periodic structure using hologram-assisted Talbot lithography
复制标题
使用全息辅助 Talbot 光刻技术控制纳米周期结构的形状
DOI：
--
复制
发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yasuhiro Takaya
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hroki Nakanishi;Yasuhiro Mizutani;Yasuhiro Takaya
