カンチレバー一体型３次元マイクロステージの開発とトライボロジー計測への応用に関する研究
カンチレバー一体型３次元マイクロステージの開発とトライボロジー計測への応用に関する研究
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悬臂一体化三维微平台研制及其在摩擦学测量中的应用研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安藤泰久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高原大地;安藤泰久
