Shunri Oda: "Diagnostic of VHF Plasma and Deposition of a-Si:H Films" 第7回プラズマプロセシング研究会 プロシ-ディングス. 373-376 ((1990))

Shunri Oda: "Diagnostic of VHF Plasma and Deposition of a-Si:H Films" 第7回プラズマプロセシング研究会 プロシ-ディングス. 373-376 ((1990))
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Shunri Oda:“VHF 等离子体的诊断和 a-Si:H 薄膜的沉积”第 7 届等离子体处理研究组论文集 (373-376) ((1990))。

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