フェムト秒レーザーが切り開く新しい微細加工技術
フェムト秒レーザーが切り開く新しい微細加工技術
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飞秒激光器开创的新型微加工技术
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤田雅之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村勇次・井上忠信;殷福星;津崎兼彰;藤田雅之
