ISBTスイッチング実現に向けたICPエッチングによるAINベース導波路作製と吸収測定 (Fabrication of A1N-based waveguides by ICP etching and ISBT absorption measurements)
ISBTスイッチング実現に向けたICPエッチングによるAINベース導波路作製と吸収測定 (Fabrication of A1N-based waveguides by ICP etching and ISBT absorption measurements)
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通过 ICP 蚀刻和 ISBT 吸收测量制造基于 AlN 的波导
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中野義昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
清水俊匡;Chaiyasit Kumtomkittikul;飯塚紀夫;鈴木信夫;杉山正和;霜垣幸浩;中野義昭
