Nanoscale Patterning of NiFe Surface by SPM Scratch Nanolithography

Nanoscale Patterning of NiFe Surface by SPM Scratch Nanolithography
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利用 SPM 划痕纳米光刻技术对 NiFe 表面进行纳米级图案化

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
J. Vac. Sci. Technol. B 27
影响因子：
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通讯作者：
J. Shirakashi
J. Shirakashi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K. Miyashita;S. Nishimura;T. Toyofuku;J. Shirakashi

文献摘要

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