対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析
対向発散磁界下誘導結合水素プラズマの解析
复制标题
反向发散磁场下的感应耦合氢等离子体分析
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
菅原広剛
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryuji Asami;Yasufumi Iryu;Kimio Hanawa;Takashi Miwa;Peter Holden;Ryuichi Shinjo and Gustav Paulay;菅原広剛
