各種成膜方法により成膜したDLCの膜構造と表面特性との関連性の検討
各種成膜方法により成膜したDLCの膜構造と表面特性との関連性の検討
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检查使用各种沉积方法沉积的 DLC 的薄膜结构和表面特性之间的关系
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平塚傑工，中森秀樹，本間章彦，平栗健二，大越康晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
間山竜也，宮田 登;平塚傑工，中森秀樹，本間章彦，平栗健二，大越康晴
