マイクロ研磨加工に応用可能な粒子分散型機能性流体の流動特性(電極間距離の影響)
マイクロ研磨加工に応用可能な粒子分散型機能性流体の流動特性(電極間距離の影響)
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适用于微抛光的颗粒分散功能液的流动特性(电极间距离的影响)
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
松平晏明
中科院分区:
文献类型:
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作者:
小原弘道;監物潤;井畑 遼亮;松平晏明