近赤外分光器用ＭＥＭＳ静電駆動マイクロシャッタアレイ
近赤外分光器用ＭＥＭＳ静電駆動マイクロシャッタアレイ
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用于近红外光谱仪的MEMS静电驱动微快门阵列
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋巧也，三田 信，本原顕太郎，小林尚人，柏川伸成，藤田博之，年吉 洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takehiko Makino. Yuya Yogo;Toshinari Michimoto;Yohei Takamori;高橋巧也，三田 信，本原顕太郎，小林尚人，柏川伸成，藤田博之，年吉 洋
