アルゴンバッファによるプラズマデブリ抑制
アルゴンバッファによるプラズマデブリ抑制
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使用氩气缓冲液抑制等离子体碎片
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
神田一浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
井上智章;望月孝晏;天野壮;神田一浩
