高橋哲,三好隆志,高谷裕浩,吉田晴彦,立野泰史,濱田守: "シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第6報)-付着微粒子の検出パターンの発生メカニズムの検討-" 1997年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 東京. 393-394 (1997)
高橋哲,三好隆志,高谷裕浩,吉田晴彦,立野泰史,濱田守: "シリコンウェハ加工表面欠陥のナノインプロセス計測に関する研究(第6報)-付着微粒子の検出パターンの発生メカニズムの検討-" 1997年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 東京. 393-394 (1997)
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Tetsu Takahashi、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Haruhiko Yoshida、Yasushi Tateno、Mamoru Hamada：《硅晶圆加工表面缺陷的纳米过程测量研究（第六次报告）——附着微粒检测图案生成机制的检验-”1997 年日本精密工程学会春季会议论文集。东京。393-394 (1997)
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