S.Komukai et al: "Measurements of voltage contrast through micrometer-size holes opened by electron beam assisted etching" J. Electron Microscopy. 41. 319 (1992)
S.Komukai et al: "Measurements of voltage contrast through micrometer-size holes opened by electron beam assisted etching" J. Electron Microscopy. 41. 319 (1992)
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S.Komukai 等人：“通过电子束辅助蚀刻打开的微米尺寸孔测量电压对比度”J. 电子显微镜。
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