Particle energy and angle distributions in ion beam sputtering
Particle energy and angle distributions in ion beam sputtering
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离子束溅射中的粒子能量和角度分布
DOI：
10.1016/s0257-8972(97)00304-6
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发表时间：
1997
影响因子：
5.4
通讯作者：
F. Bigl
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Franke;H. Neumann;M. Zeuner;W. Frank;F. Bigl
